調壓閥特性

Po=Fs/A – (Pi-Po) x a/A
Typical values
Orifice 0.062 diameter
Diaphragm effective diameter .92
Supply pressure effect [.062/.9]2≒1/200
→ 入口壓力每降100psi 出口壓力會上昇0.5 psi

Orifice 0.342 diameter
Diaphragm effective diameter 2.20
Supply pressure effect [.32/2.20]2≒ 3/100
→ 入口壓力每降100psi 出口壓力會上昇3 psi

he 減量

1 LHe ISO container = 8 GHe Tube Trailer
目前PHe average flow rate=31Nm3/hr , He tube trailer 每月進廠約9車次,
平均每3天進廠更換一次。
依此用量估算, B廠滿載時,每月總用量達19.8車次,平均1~2天進廠更換一次。
採用LHe供應,可降低為每月2.5車次,與GHe供應方式相較,每月可減少17.3車次。
依每車次運輸費用估算約15,000元, 每月可節省17.3*1.5萬=26萬元
效益評估:
To APSF:
減少x充填設備投資(Vaporizer/Compressor/Cold trap/Tube trailer/Analyzer..)
減少人員充填操作運轉,降低Labor cost。
減少Tube trailer車輛貨源調度,節省相關人事,運輸費用。
降低機台車輛維修保養頻率及費用。
減少QC/QA相關設備投資操作。

To B 減少Trailer更換時,管路沖吹造成之氣體浪費, 污染與噪音。
減少更換次數,供氣品質穩定
NBFC (Helium gas) cost down (在相同base下, LHe cost <= GHe cost

ERCV(緊急應變鋼瓶運送車)操作步驟

將 ERCV 置於接近漏氣鋼瓶之安全位置。
取下前、後沖吹閥之保護蓋。
確認 ERCV 之各沖吹閥為關閉狀態。
拿掉沖吹閥之防塵蓋，並打開前沖吹閥以洩放保壓氣體，直至沒有壓力時，再將其關閉。
後沖吹閥接上連接有調壓閥之鈍氣(氮、氬、氦)鋼瓶。
前沖吹閥接上排放管線，管線出口端拉至安全位置。(scrubber , ventilated gas cabinet)
逆時針方向旋鬆上、下兩個六角安全螺帽，直到上、下兩個安全卡片可與固定栓分開。
逆時針方向轉動固定扣環連桿，將ERCV Flange之固定扣環打開，並將 ERCV 之 Flange 打開。
目視檢查 Flange 上之ｏ型環是否損傷。
以手電筒檢查ERCV內部是否有異物或遭腐蝕損壞。確認洩漏鋼瓶之瓶閥已關閉，且防塵蓋已鎖緊。
蓋上鋼瓶保護蓋。
將漏氣鋼瓶橫倒，鋼瓶底部朝ERCV入口方向，小心將漏氣鋼瓶送至 ERCV 底部。
用安全鎖鍊取適當位置之固定孔，將鋼瓶固定。
關上ERCV之Flange，並順時針方向轉動固定扣環連桿，將 ERCV Flange 之固定環扣上。
裝上安全卡片，再順時針方向旋緊上、下兩個六角安全螺帽(不可過緊)。
立刻打開前、後沖吹閥。
以10~20 L/min流量的purge gas吹入ERCV中，最少須5分鐘。關前沖壓閥，允許壓力升至100 psig後，關後沖吹閥並開前沖閥洩壓，重覆purge至少3次。將ERCV加壓至100 psig後，確認前、後沖吹閥均已關閉。注意:若洩漏鋼瓶為耐低壓材質，則加壓不可超過耐壓程度，以免損傷洩漏鋼瓶。
對各閥件、Flange及壓力錶以測漏液實施測漏。
發現任何洩漏處，立即修理。
修復後，重覆purge動作至少3次。
再實施測漏後，若無任何洩漏，則洩壓後拆除沖吹及排放管線並蓋上防塵蓋。
檢查及記錄ERCV壓力錶，壓力錶顯示之壓力若降低，表示 ERCV仍未完全密閉， 壓力錶顯示之壓力若持續上升，則表示洩漏之鋼瓶仍持續洩漏。
裝上前、 後沖吹閥保護蓋。
小心將ERCV上車後，運送至可處理地點處理。嚴禁處理產品
強氧化性物質，如 :
Fluorine(F2) / Oxygen(O2) / Nitrogen Dioxide(NO2) / Chlorine Trifluoride(ClF3) / Nitric Oxide(NO)
自燃性氣體，如:
Diborane(B2H6) / Silane(SiH4) / Phosphine(PH3) / Disilane(Si2H6)
乙炔
非金屬容器，如玻璃或塑膠
鋼瓶內為爆炸性混合氣
鋼瓶曾經火燒或爆炸之損傷
鋼瓶充填過量

VMB/VMP Gas turn on procedure

廠務部氣體送氣配合規定說明
各單位送氣前二工作日48hrs (不含假日), 通知環安及廠務Hook up
Hook up 亦於送氣前二工作日48hrs (不含假日), 通知氣化課系統負責人
送氣時間為週一~週五 09:00~17:00, 若有緊急需求, 需經部門主管同意
夜間及假日原則上不予送氣, 若有特殊需求請欲送氣之單位與廠務氣化課課長協調送氣與否, 但仍需經其送氣之單位的部門主管簽核同意並會簽環安主管
Gas turn on procedure
For Specialty Gas/Bulk Gas
請Hook up 確認 VMP stick 至機台之管路正確
準備送氣, 將調壓閥關小, 打開手動閥, 緩慢調壓至所需壓力
掛牌
VMB/VMP Gas turn on procedure
廠務部氣體送氣配合規定說明

送氣配合規定說明

VMB/VMP Gas turn on procedure(含拆, 移機注意事項)

廠務部氣體,請各設備工程師配合實施:
送氣事項之配合:
1.a.各單位裝機前七日須以裝機 CAD 圖或廠務需求通知ISEP ,以利派工安裝 Gas detector
b.各單位送氣前二工作日48hrs(不含假日),需將裝機安全管制表送至 ERC 會簽
Gas detector 功能.
c.. ERC 完成簽核後, 送氣前一日需將裝機安全管制表送至廠務部氣體組(EXT 3930)
審核裝機安全管制表內相關送氣資料是否填寫及相關簽核,資料完整廠務部
即排定隔日送氣時間,會同使用單位送氣.
2. a. 送氣當日使用單位需完成" Fab3 Equipment Hook up Pipe Line Fine Check Report "
表格內之測漏資料填寫,經 Section Manager (或代理人) 簽核同意送氣,毒性氣體
需再經ERC 簽核確認偵測器正常.
b. 送氣時間為週一~週五 09:00~16:00 ,最遲送件時間為16:00(因超過此時段送氣若有
題或意外發生,較難通知到廠商請求支援及協助)
16:00 送件廠務部仍會完成當日送氣,期間若發生不合規定將不予送氣.
超過 16:00 送件,廠務部即排定隔日送氣,若有緊急需求,需經廠長簽核同意.
c. 夜間及假日原則上基於上述原因也不予送氣,若有特殊需求請送氣單位副理與廠務氣化課副理協調送氣與否,但仍需經廠長簽核同意並會簽工安主管.
3. a. 裝機安全管制表填寫內容表格說明:
SL2-F1: Gas Hook Up Piping (VMB/P) Installation Acceptance Check List
SL2-E2: Gas Delivery Check
SL2-E5: Local Scrubber
SL2-I2 : Central Gas Monitor System
b. 原機台新增氣體,需照上述填寫相關檢查表
附註說明:
送氣前七日須以裝機 CAD 圖或廠務需求通知ISEP.
送氣前二工作日需完成簽核SL2-I2 : Central Gas Monitor System
送氣前一日需完成簽核並送廠務部氣體組
SL2-F1: Gas Hook Up Piping (VMB/P) Installation Acceptance Check List
SL2-E2: Gas Delivery Check
SL2-E5: Local Scrubber
送氣當日 16:00 前需完成簽核 Fab3 Equipment Hook up Pipe Line Fine Check Report








一、 VMB/VMP Gas turn on document :
ｱ、 詳細填寫裝機資料簿中之SL2-F2 SFL-E2 SFL-E5 SF2-I2 及 F3 EQ Hookup pipe line final check report
ｲ、 需確認VMB及機台是否裝妥毒氣偵測器且功能正常
ｳ、 VMB/VMP欲送氣之Stick均需掛“ON”標示牌, 請依下列格式填寫各項資料






二、 Gas turn on procedure (設備需完成事項)_非經廠務許可, 嚴禁操作三通閥
ｱ、 For Bulk Gas (O2, Ar, He) : (目前各盤面均充壓氮氣 1 kg/cm2)
1. Case 1:
1) 各盤面第一次送氣須打開specified stick之V1及inlet 2-way valve, 由機台端至前一 VMB/P端抽真空 (見圖一)
2) 設備工程師將Gas turn on document準備ok, 掛牌
3) 準備送氣, 將調壓器關小, 打開V1, V2, 緩慢調壓至所需壓力---(洽廠務)
2. Case 2:
1) 已送氣盤面之其餘stick則由機台抽至V1端即可 (見圖二)
2) 設備工程師將Gas turn on document準備ok, 掛牌
3) 準備送氣, 將調壓器關小, 打開V1, V2, 緩慢調壓至所需壓力---(洽廠務)
ｲ、 For Sepcialty Gas (含H2) : (目前各盤面均充壓氮氣 1 kg/cm2)
1. Case 3: 開啟新氣瓶櫃送氣: (見圖三) ---(新盤Gas turn on請洽廠務)
(通常發生於工廠開始運轉初期或新增擴充櫃)
1) GC以He/N2持壓測漏, line purge, evacuation ---(洽廠務)
2) 設備將指定VMB/VMP之指定stick pumping down from equip. tool to GC (抽至-1kg/cm2) ---(洽廠務)
3) 設備工程師將Gas turn on document準備ok, 掛牌
4) Close inlet 2-way valve, turn on Gas送至盤一次側
5) 準備送氣, 將調壓器關小, 打開inlet 2-way valve ,V1, V2,
緩慢調壓至所需壓力---(洽廠務)
2. 其餘盤面第一次送氣 : 同Bulk Gas盤Case 1
3. 已送氣盤面之其餘stick送氣 : 同Bulk Gas盤Case 2

*以上所有抽真空至VMB/P各閥件,皆需完成測漏動作.
4. 無法抽負壓測漏之機台,需使用正壓(保壓)測漏
1) 1) 設備將指定VMB/VMP之指定stick 以real gas緩慢調壓至所需壓力
保壓 from VMB/P to equipment tool (洽廠務)
2)持續觀察壓力之變化,並隨時以TLD-1做現場偵測,並請ERC監控


三、 機台移機注意事項:
ｱ、 將欲移機機台對應VMB/VMP stick之V1閥關閉, 由機台至V1端抽真空
ｲ、 關閉V2閥, 拆除V2 outlet管路, 並加以cap
ｳ、 於V2閥懸掛OFF標示牌(請詳細填寫各項資料)

gas 危害

Item Equip location Spec 2006.9前數量 2006.9~2007.9新增 現有總數 Risk method Remark
FAB III Gas Room
1 GC-4%H2/N2 A155 2 1 3 有窒息危害。 1. 環境含氧量偵測
2 GR-C2F6 A155 1 0 1 1. 大量吸入可能造成窒息 1. 環境含氧量偵測
3 GR-CHF3 A155 1 1 2 "1.吸入引起缺氧症
2.長時間供氧不足會影響心臟和神經系統。" 1. 環境含氧量偵測
4 GR-CO2 A155 1 1 2 "1.吸入會取代空氣中的氧氣，造成窒息。
2.長時間供氧不足會影響心臟和神經系統。" 1. 環境含氧量偵測
5 GR-SF6 A155 2 2 4 1.吸入引起缺氧症。 1. 環境含氧量偵測
6 GR-Xe A155 1 1 2 可能造成窒息。 1. 環境含氧量偵測
7 GR-C4F8 A155 1 1 2 "1.大量吸入可能造成窒息、麻痺及肝不適。
2.非腐蝕性及非可燃性氣體，但接觸火源產生HF及F2。" 1. 環境含氧量偵測
8 GR -1.2% He/N2 A155 1 0 1 為非毒性氣體但若取代空氣中的氧氣會造成窒息。 1. 環境含氧量偵測
9 GR-N2O A155 1 0 1 "1.吸入造成窒息，傷害皮膚及眼睛。
2.為氧化劑，可助燃並加速燃燒。" 1. 環境含氧量偵測
10 HFS N2O A155 1 0 1 1. 環境含氧量偵測
11 GR -1.3% Kr/Ne A155 1 0 1 造成空氣中缺氧，有窒息的危害。 1. 環境含氧量偵測
12 GR-3.5% Ar/Xe/Ne A155 1 0 1 "1.吸入引起缺氧症
2.長時間供氧不足會影響心臟和神經系統。" 1. 環境含氧量偵測
13 GR-30% O2/He A155 1 0 1 "1.助燃物質，與可燃性物質會發生強烈反應，加強火勢。
2.可能造成窒息。" 1. 環境含氧量偵測
14 GR-C3F8 A155 1 1 2 1.長時間缺氧狀態下會影響心臟和神經系統。 1. 環境含氧量偵測
15 GR-CF4 A155 2 4 6 "1.大量吸入引起缺氧及痳痺。
2.長時間供氧不足會影響心臟和神經系統。" 1. 環境含氧量偵測
16 GC-NF3 A155 1 0 1 為氧化性氣體，對金屬或非金屬有引起反應或發火的危害。 "1. 環境含氧量偵測
2. Detector"
HFS NF3-Y A155 1 0 1 "1. Gas Detector
2. Exhaust"
17 HFS NF3-Traier J-Bulidng 1 0 1 "1. Gas Detector
2. Exhaust"
18 GC-NH3 A154 1 0 1 "1.非可燃性氣體，但在高溫下會形成可燃性氫氣和毒性氣體。
2.刺激眼睛、皮膚及上下呼吸道" "1. Gas Detector
2. Exhaust"
19 HFS NH3 Gas Yard 1 0 1 "1. Gas Detector
2. Exhaust"
20 GC-4% PH3/N2 A153 1 1 2 "1.氣體高度易燃。暴露於空氣下可能自燃。
2.吸入劇毒，會造成呼吸困難，症狀可能延遲發生，可能會致死。" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. 洩爆牆
4. UV/IR detector
5. Auto shutoff vlave
6. Excess flow"
21 GC -1% PH3/He A153 1 2 3 "1.室溫以上會自燃。
2.吸入會造成呼吸困難，症狀可能延遲發生，可能會致死。" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. 洩爆牆
4. UV/IR detector
5. Auto shutoff vlave
6. Excess flow"
22 GC-5% B2H6/N2 A153 1 1 2 "1.具火災危害特性，與空氣混合具爆炸性。
2.刺激眼睛、皮膚及呼吸道、抑制中樞神經系統。" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. 洩爆牆
4. UV/IR detector"
25 GC -10% CH4/Ar A153 1 0 1 1. 無毒，但會降低呼吸所需的氧含量，造成缺氧現象會窒。 "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. 洩爆牆
4. UV/IR detector
5. Excess flow"
26 GC-C4F6 A153 2 3 5 "1.毒性易燃氣體
2.大量吸入時有不規則心跳和暈眩，造成麻痺、肝不適、窒息。" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. 洩爆牆
4. UV/IR detector
5. Excess flow"
27 GC-CH2F2 A153 1 2 3 "1.易燃氣體
2.有著火及爆炸危害" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. 洩爆牆
4. UV/IR detector
5. Excess flow"
28 GC-CO A153 1 0 1 "1. 毒性氣體
2.高度易燃。靜電可能引燃。蒸氣會傳播遠處若遇引燃源會回燒" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. 洩爆牆
4. UV/IR detector
5. Excess flow"
30 GC-HBr A152 2 2 4 "1.吸入或接觸會造成呼吸道、眼睛或皮膚的灼傷。
2.會侵蝕金屬並產生氫氣。
3.強烈腐蝕性。" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. 洩爆牆
4. UV/IR detector
5. Excess flow"
31 GC-20%F2/N2 A152 1 3 4 "1.會刺激眼睛，皮膚及呼吸系統，造成灼傷，高濃度可能產生肺水腫或失明。
2.與水接觸會產生毒氣，為一氧化性物質，與可燃物接觸可能引燃或爆炸。" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. Excess flow"
32 GC-Cl2 A152 2 3 5 "1.毒性及腐蝕性氣體
2.吸入造成黏膜呼吸道強烈刺激及呼吸困難。" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. Excess flow"
33 GC-1%F2/1.3%Kr/Ne A152 1 0 1 1.與水氣反應產生HF，而此生成物對皮膚會造成無法立即察覺或可見之嚴重灼傷。 "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. Excess flow"
34 GC-1%F2/3.5%Ar/Ne A152 1 0 1 1.與水氣反應產生HF，而此生成物對皮膚會造成無法立即察覺或可見之嚴重灼傷。 "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. Excess flow"
35 GC-DCS (SiH2Cl2) A115 4 2 6 "1.吸入時，會腐蝕並刺激呼吸道和黏膜。
2.對於皮膚及眼睛角膜會產生刺激並引起灼傷。
3.接觸濕氣會產生含矽白色煙霧和大量的氯化氫。水解產物亦是可燃的。" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. 洩爆牆
4. UV/IR detector
5. Excess flow"
36 GC-Si2H6 A115 1 0 1 "1.二矽乙烷是自燃性氣體，與空氣接觸便會自行燃燒，並釋放出未結晶的二氧化矽。
2.曝露在很低的二矽乙烷會刺激黏膜和呼吸系統、眼睛、皮膚。
3.吸入高濃度的二矽乙烷會引起頭痛、頭昏、昏睡、刺激上呼吸道。" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. 洩爆牆
4. UV/IR detector
5. Excess flow"
37 GC-ClF3 A114 6 6 12 "1.對呼吸系統具有腐蝕性及強烈刺激性
2.對於皮膚及眼睛角膜會產生刺激並引起灼傷。
3.會與大部份有機物和無機物反應，與水反應生成氟化氫及其他有毒之氟化合物。" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. 洩爆牆
4. UV/IR detector
5. Excess flow"
38 GC-WF6 A-1F 10 17 27 "1.對眼睛、呼吸系統具腐蝕性及強烈刺激性。
2.遇水氣會反應成強腐蝕性氫氟酸，若吸入或皮膚接觸會有化學性灼傷的危害。" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. Excess flow"
39 GC-BCl3 A-1F 2 2 4 "1. 氧化性及毒性氣體
2.遇水強烈水解生成大量熱和煙霧，其產物為氯化氫酸液" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. Excess flow"
40 GC-C5F8 A-1F 7 4 11 "1. 毒性氣體
2.對眼睛、皮膚和呼吸道造成刺激。" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. Excess flow"
41 GC-HF A-1F 1 1 2 "1.低濃度蒸氣產生刺激，高濃度引起嚴重灼傷。
2.嚴重的灼傷和貫穿消化系統可能導致死亡。" "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. Excess flow"
FAB IV Gas Room
1 GR-C2F6 B114 0 1 1 1. 大量吸入可能造成窒息 1. 環境含氧量偵測
2 GR-CHF3 B114 0 2 2 "1.吸入引起缺氧症
2.長時間供氧不足會影響心臟和神經系統。" 1. 環境含氧量偵測
3 GR-SF6 B114 0 2 2 1.吸入引起缺氧症。 1. 環境含氧量偵測
4 GR-Xe B114 0 1 1 可能造成窒息。 1. 環境含氧量偵測
5 GR-C4F8 B114 0 1 1 "1.大量吸入可能造成窒息、麻痺及肝不適。
2.非腐蝕性及非可燃性氣體，但接觸火源產生HF及F2。" 1. 環境含氧量偵測
6 GR -1.2% He/N2 B114 0 1 1 為非毒性氣體但若取代空氣中的氧氣會造成窒息。 1. 環境含氧量偵測
7 GR -1.3% Kr/Ne B114 0 1 1 造成空氣中缺氧，有窒息的危害。 1. 環境含氧量偵測
8 GR-3.5% Ar/Xe/Ne B114 0 1 1 "1.吸入引起缺氧症
2.長時間供氧不足會影響心臟和神經系統。" 1. 環境含氧量偵測
9 GR-CF4 B114 0 2 2 "1.大量吸入引起缺氧及痳痺。
2.長時間供氧不足會影響心臟和神經系統。" 1. 環境含氧量偵測
10 GC-NF3-Tube Trailer B102 0 1 1 為氧化性氣體，對金屬或非金屬有引起反應或發火的危害。 "1. 環境含氧量偵測
2. Detector
3.Exhaust"
11 HFS NF3-Y B102 0 1 1 "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust"
12 HFS NF3-Traier B102 0 1 1 "1. Gas Detector
2. Exhaust
3. Auto shutoff vlave"
13 HFS N2O B102 0 2 2 1. 環境含氧量偵測
14 HFS NH3 H棟管橋下 0 2 2 "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
3. 環境UVIR"
15 GC -1% PH3/He B103 0 2 2 "1.室溫以上會自燃。
2.吸入會造成呼吸困難，症狀可能延遲發生，可能會致死。" "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
3. 防爆隔間，洩爆牆
4. Excess flow
5. Auto shutoff vlave"
16 GC-5% B2H6/N2 B103 0 1 1 "1.具火災危害特性，與空氣混合具爆炸性。
2.刺激眼睛、皮膚及呼吸道、抑制中樞神經系統。" "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
3. 防爆隔間，洩爆牆
4. Excess flow"
17 GC -10% CH4/Ar B103 0 1 1 1. 無毒，但會降低呼吸所需的氧含量，造成缺氧現象會窒。 "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
3. 防爆隔間，洩爆牆
4. Excess flow"
18 GC-C4F6 B103 0 2 2 "1.毒性易燃氣體
2.大量吸入時有不規則心跳和暈眩，造成麻痺、肝不適、窒息。" "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
3. 防爆隔間，洩爆牆
4. Excess flow"
19 GC-CH2F2 B103 0 1 1 "1.易燃氣體
2.有著火及爆炸危害" "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
3. 防爆隔間，洩爆牆
4. Excess flow"
20 GC-HBr B114 0 2 2 "1.吸入或接觸會造成呼吸道、眼睛或皮膚的灼傷。
2.會侵蝕金屬並產生氫氣。
3.強烈腐蝕性。" "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
3. Excess flow"
21 GC-20%F2/N2 B114 0 2 2 "1.會刺激眼睛，皮膚及呼吸系統，造成灼傷，高濃度可能產生肺水腫或失明。
2.與水接觸會產生毒氣，為一氧化性物質，與可燃物接觸可能引燃或爆炸。" "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
3. Excess flow
4. Coxial Tube"
22 GC-Cl2 B114 0 2 2 "1.毒性及腐蝕性氣體
2.吸入造成黏膜呼吸道強烈刺激及呼吸困難。" "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
3. Excess flow"
23 GC-1%F2/1.3%Kr/Ne B114 0 1 1 1.與水氣反應產生HF，而此生成物對皮膚會造成無法立即察覺或可見之嚴重灼傷。 "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
3. Excess flow"
24 GC-1%F2/3.5%Ar/Ne B114 0 1 1 1.與水氣反應產生HF，而此生成物對皮膚會造成無法立即察覺或可見之嚴重灼傷。 "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
3. Excess flow"
25 GC-DCS (SiH2Cl2) B175 0 3 3 "1.吸入時，會腐蝕並刺激呼吸道和黏膜。
2.對於皮膚及眼睛角膜會產生刺激並引起灼傷。
3.接觸濕氣會產生含矽白色煙霧和大量的氯化氫。水解產物亦是可燃的。" "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
3. 防爆隔間，洩爆牆
4. UVIR
5. Auto shutoff vlave"
26 GC-ClF3 B176 0 3 3 "1.對呼吸系統具有腐蝕性及強烈刺激性
2.對於皮膚及眼睛角膜會產生刺激並引起灼傷。
3.會與大部份有機物和無機物反應，與水反應生成氟化氫及其他有毒之氟化合物。" "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
3. 防爆隔間，洩爆牆
4. UVIR
5. Auto shutoff vlave
6. Coxial Tube"
27 GC-WF6 B-1F 0 13 13 "1.對眼睛、呼吸系統具腐蝕性及強烈刺激性。
2.遇水氣會反應成強腐蝕性氫氟酸，若吸入或皮膚接觸會有化學性灼傷的危害。" "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
"
28 GC-BCl3 B-1F 0 4 4 "1. 氧化性及毒性氣體
2.遇水強烈水解生成大量熱和煙霧，其產物為氯化氫酸液" "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
"
29 GC-C5F8 B-1F 0 11 11 "1. 毒性氣體
2.對眼睛、皮膚和呼吸道造成刺激。" "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
"
30 GC-HF B-1F 0 2 2 "1.低濃度蒸氣產生刺激，高濃度引起嚴重灼傷。
2.嚴重的灼傷和貫穿消化系統可能導致死亡。" "1. Gas Detector
2. Auto Damper & Exhaust
"

列管毒化物重量計算

1%F2/3.5%Ar/Ne,49L 2350Psig計算原物料個別重量
PV=nRT
(2350/14.7)*49=n*0.0821*(273+21)
n=324.53
Wf2=324.53*1%*38(分子量)=123.3g
War=324.53*3.5%*40=454.3g
Wne=324.53*(100-1-3.5)%*20.18=6253.3g
總重=Wf2+War+Wne=6720g

1%F2/1.3%Kr/Ne,49L 2400Psig計算原物料個別重量
PV=nRT
(2400/14.7)*49=n*0.0821*(273+21)
n=331.4
Wf2=331.4*1%*38(分子量)=125.9g
War=331.4*1.3%*83.8=361g
Wne=331.4*(100-1-1.3)%*20.18=6533.8g
總重=Wf2+War+Wne=7020g

5%PH3/Ar,44L,1800Psig 計算原物料個別重量
PV=nRT
(1800/14.7)*44=n*0.0821*(273+21)
n=223.2
Wph3=223.2*5%*34=379.4g
War=223.2*(1-5%)*40=8481.6g
總重=Wph3+War=8861g

氣瓶櫃鋼瓶更換作業 Check List

氣體種類 : _______________ GC 編號 : _______________
項次 操 作 / 檢 查 內 容 執行狀況 備 註
是 否
Pre-Purge 操作人員 : _____________ 確認人員 : _____________
1 確認供氣側在"Process Gas Flow"狀態，且供應壓力正常 檢查PT2壓力
2 檢查氣瓶櫃Exhaust量是否足夠
3 確認Scrubber是否正常運作 (指示劑是否變色)
4 檢查Purge gas cylinder(N2)壓力是否正常 (鋼瓶壓力> 200psig)
5 紀錄鋼瓶殘餘量(Lb) Lb
6 依氣瓶櫃Controller畫面指示進行"Start Pre-Purge"程序
7 手動關閉欲更換側鋼瓶之瓶頭閥，並打開MV-22手動閥
Cylinder Change 操作人員 : _____________ 確認人員 : _____________
1 檢查氣瓶櫃Controller畫面是否顯示"Pre-Purge Completed"
2 領取欲更換之氣體鋼瓶，確認領用鋼瓶之氣體名稱並執行鋼瓶外觀檢查 瓶身是否有損傷或骯髒
3 檢查鋼瓶上是否有檢驗合格標籤，並於標籤上之氣體名稱及料號以簽字筆標記
4 檢查鋼瓶上之MSDS危害標示是否正確
5 檢查鋼瓶上是否有"實瓶/使用中/殘氣鋼瓶"之貼紙
6 鋼瓶閥外觀檢查
7 穿戴適當安全防護具
8 依氣瓶櫃畫面指示進行"Start Cylinder Change"程序
9 緩慢鬆開DISS接頭
10 移走殘氣鋼瓶並將"使用中"貼紙撕去，換上實瓶氣體鋼瓶
11 緩慢鬆開DISS接頭保護蓋
12 鋼瓶閥DISS接頭檢查
13 13.1 DISS接頭型式是否與氣瓶櫃內Pigtail型式相符
13.2 DISS接頭之螺紋及密封接面是否清潔
13.3 DISS接頭之螺紋及密封接面是否有損壞或刮痕
13.4 DISS Gasket檢查是否正常，並安裝至DISS接頭上
14 利用DISS接頭用扭力扳手將DISS接頭鎖緊 扭力設定 35 ft-lb
Post Purge 操作人員 : _____________ 確認人員 : _____________
1 依氣瓶櫃Controller畫面指示進行高壓測漏程序 高壓測漏鋼瓶壓力>1000psig
2 依氣瓶櫃Controller畫面指示進行"Start Post-Purge"程序
Process Flow 操作人員 : _____________ 確認人員 : _____________
1 檢查氣瓶櫃Controller畫面是否顯示"Post-Purge Completed"
2 手動打開鋼瓶閥，並將"實瓶"貼紙撕去
3 執行"Start Process Gas"程序
4 確認氣動閥V1,V2是否有自動打開，PT1 & PT2壓力是否正常
5 檢查MV-9閥是否在"Open"狀態
6 將鋼瓶上之貼紙由"實瓶"撕掉更換為"使用中"
7 確認更換側在Controller畫面上是否顯示為"Standby"
註： 1.執行狀況中"是"表示有執行動作或確認狀況正常，請以"○"標記
1.執行狀況中"否"表示有執行動作或確認狀況異常，請以"X"標記
2.若無此執行項目請在"是"的地方以"NA"標記 單位主管 : ___________________

VMB 異常處理SOP

Old type & new type VMB
VMB 異常處理SOP
Old type VMB
VMB 異常處理SOP
New type VMB
VMB 異常處理SOP
VMB內部
VMB 異常處理SOP
N2 氣源位置
VMB 側面有一1/4” 管路，巡線即可找到N2 手動閥
VMB 異常處理SOP
處理程序
異常發生時，先判斷是單點或是多點異常
從SCADA alarm message 判斷
從壓力Trend chart判斷。
User call in
VMB 異常處理SOP
整個VMB 供氣異常
無電源
電源跳脫
無氣源
電磁閥故障
電磁閥入口處快速接頭漏氣
主氣動閥氣源落
主氣動閥故障
單點供氣異常
無氣源
電磁閥故障
氣動閥氣源管脫落
電磁閥出口處快速接頭漏氣
氣動閥故障
手動閥被關閉
VMB 異常處理SOP
VMB 異常處理SOP
處理程序 (無電源)
確認電源開關狀態





若無法立即復歸，可將電磁閥指撥開關打開，強制供氣 (手指壓下後，往順時針方向旋轉到底)

MAD Vertex

資料來源\科榮公司
72點連續偵測器簡易操作手冊


一. 開機步驟
1. 打開觸控螢幕面板
2. 開啟主電源開關
3. 開啟分析器電源開關 主電源開關 分析器電源開關 or 主電源開關 分析器電源開關
4. 啟動Vertex 軟體程式於前面主電源打開之同時,Daq 電腦也會同時啟動,Vertex軟體也會自動執行進入以下畫面 5Vertex 軟體程式之主畫面
5. 檢查各分析器畫面是否有故障(F)或保養(M)訊息如上圖主畫面各分析器上,若有M或 F訊息,則該分析器應該有異常,先試著按 “ Event List “ 然後 再點選 “ Reset all “,看看清除後,是否會再出現,若有再出現,則可能要通知科榮公司之人員來協助處理.
6. 啟動偵測模式a.先確認主畫面上有哪些分析器應該進入偵測模式,但是還未被 啟動.b.若有該啟動但未啟動,則請依下面方式來啟動偵測模式 Step1 在主畫面上點選 ‘ MENU ” Step2 在 “ MENU “ 內點選 “ Runtime Options “ ,出現如以下畫面 Step3 先在畫面右上方點選欲啟動之分析器,再點選左上方之‘Start Monitor “ Step4 重複以上動作完成所有欲啟動之分析器
c.點選右下方 ‘ Main Screen “ 回到主畫面
d.確認每個分析器畫面上,是否如設定,該啟動的都已在分析模式 (Monitor)


二. 關機步驟
1. 停止偵測
Step1: 在主畫面右下方上點選 “ MENU “
Step2 在 “ MENU “ 內點選 “ Runtime Options “ ,出現如以下畫面
Step 3 先在畫面右上方點選欲停止之分析器,再點選左上方之‘Stop Monitor “
Step 4 重複以上動作完成所有欲停止之分析器
2. 回到主畫面右下方上點選 ‘ Project “ ,
3. 在右邊畫面上點選 “ Stop Project “,關掉Vertex 程式
4. 按照正常關Windows 方式關掉電腦, 點選螢幕左下角 “ Start “,然後選 ‘ Shut Down “ 關機.
5. 打開觸控螢幕,關掉每個分析器之電源開關
6. 關掉主電源開關 主電源開關 分析器電源開關
or 主電源開關 分析器電源開關

三. 紙帶安裝方法紙帶更換可分兩種情況:
1. 新紙帶, 如紙帶用完,重新安裝,或新上線機台之紙帶安裝
2. 使用中之紙帶重新安裝, 如有氣體警報必須檢查紙帶時,可能需拿出紙帶檢查後,要裝回去恢復偵測.
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1. 新紙帶安裝步驟:
Step1: 如前面關機步驟1之停止偵測步驟, 將欲更換紙帶之分析器跳出偵測模式.
Step2: 在主畫面右下方上點選 “ MENU “ 再選 ‘ Maintenance “
Step3: 點選欲更換紙帶之分析器
Step4: 點選 ‘ Load CC “ 鍵
Step5: 點選 ‘ NEXT “ 鍵再將該分析器拉出機櫃
Step6: 將舊紙帶取出
Step7: 安裝新紙帶,RFID 要對好
Step8: 點選 ‘ NEXT “ 鍵, 讓RFID讀取資料,
Step9: 將紙帶前端拉至另一空白紙盤固定,並調整紙帶讓對準線在光學頭之前緣.
Step10: 點選 ‘ NEXT “ 鍵, 讓光學頭自動調整檢查.
Step11: 完成螢幕指示安裝程序後,將分析器推回機櫃
Step12: 做flow balance.
a. 在主畫面’Main Screen”下選 ‘Menu” , “Service’
再選’Authorized Service” ,如以下畫面

b. 點選分析器
c. 點選” Auto Balance “ , pump自動啟動調整flow直到pump 停止
d. 再點選該分析器並按 ‘ Pump On”, 確定各點flow約在 180 cc /min +-5%內(171 cc/min~189 cc/min)
e. 再點選 ‘ Pump Off”,並按”Mian Screen’回到主畫面
Step13: 回到主畫面將 ‘fault’ reset. 若要啟動分析,則按照開機步驟 6
“ 啟動偵測模式”
2. 使用中之紙帶重新安裝﹔
　　Step1: 如前面關機步驟1之停止偵測步驟, 將欲更換紙帶之分析器跳出偵測模式.
Step2: 在主畫面右下方上點選 “ MENU “ 再選 ‘ Maintenance “
Step3: 點選右下方上 “ Analyzer Operation “
Step4: 點選欲安裝紙帶之分析器
Step5: 點選左邊　“ Release Analyzer “
Step6:　將該分析器拉出機櫃
Step7: 點選左邊　“ Open Gate “
Step8: 將紙帶拿出來檢查並重新裝回
Step9: 點選左邊　“ Close Gate “
Step10: 將分析器推回機櫃
Step11: 做flow balance.
a. 在主畫面’Main Screen”下選 ‘Menu” , “Service’
再選’Authorized Service” ,如以下畫面

b. 點選分析器
c. 點選” Auto Balance “ , pump自動啟動調整flow直到pump 停止
d. 再點選該分析器並按 ‘ Pump On”, 確定各點flow約在 180 cc /min +-5%內(171 cc/min~189 cc/min)
e. 再點選 ‘ Pump Off”,並按”Mian Screen’回到主畫面
Step12: 回到主畫面將 ‘fault’ reset. 若要啟動分析,則按照開機步驟 6
“ 啟動偵測模式”



四. 氣體警報之確認步驟
一般圖控有氣體警報皆會先檢查紙帶上是否有變色,以確認是否為真實警報
1. 先在Vertex程式主畫面上點選” Preview “ , 再選” Event List” 看看該段時間是否有濃度警報記錄. 若有記錄,則確定Vertex 有送出此警報.
2. 按照紙帶更換方法第二種方式　“ 使用中之紙帶重新安裝 ” 之步驟將紙帶取出,檢查紙帶是否變色. 若紙帶有變色且沒有灰塵,則表示此偵測點有氣體洩漏,應該到現場檢查.
3. 確認完畢後,如“ 使用中之紙帶重新安裝 ” 之步驟將紙帶裝回,恢復偵測.



五. 機台故障之處理步驟
一般圖控有收到機台故障訊息時,應該先到現場確認問題
故障訊息大致可分成兩種如下﹔
“ Maintenance Faults “ 保養故障訊息, 提醒訊息,機台暫時還可繼續偵測
“ Instrument Faults “ 機台故障訊息,機台以有故障,應該立即處理
處理步驟﹔1. 先在程式主畫面上點選” Preview “ , 再選” Event List” 看看是否有　　 故障記錄. 若有記錄,則確定Vertex 有送出此故障訊息.
2. 若此故障訊息是　fault code 203 “ END OF CC “ 則有可能是紙帶用完或紙帶斷掉,可先照前面紙帶安裝方法處理.