4 HBr＋ O2 < > 2 H2O＋ 2 Br2遇水氣後成為強酸酸性度是HClO4 >HI >HBr>HCl>HNO3 >H2SO4 Br溴不如氯Cl活潑，是中等強度的氧化劑；除個別貴金屬外，溴能與所有的金屬化合成溴化物/金屬若在酸性環境中---腐蝕 純氣(不含任何水分)是沒有任何腐蝕性的。氣體的管子就是316L的不鏽鋼管，這些不鏽鋼管可以在24Hr 3kg/平方公分 的情況下可以耐用好幾年含水的腐蝕性氣體就不同了。蝕刻製程中的尾氣(含高濃度HBr /HCl與水氣)在透過前段廢氣處裡器的洗滌塔時，就有能力把不鏽鋼(304L)材質的拉
西環完全腐蝕 小結:殘留的氣化合物質 + 水氣 = pigtail酸性腐蝕 氣化合物質來源管路殘留低濃度的純氣洩漏後的氣水化合物質 水氣的來源空調相對溼度要維持60%低於40%容易發生靜電火花呼吸的濕氣穿BA後會排出製程氣瓶內含水分(HBr 48%需進一步確認)PURGE N2含水分 改善建議增加Purge次數或多執行panel purge清除殘留的氣化合物質空調溼度降低到45%PPE使用SCBA拆裝時仔細檢是有無變色/腐蝕情形正常以無塵布擦拭/異常時建議更換不可使用保壓增高或測試時間延長30~60分鐘降2~5PSIG或使用He leak test避免微漏檢視N2 COA含水分PURGE N2 加Purifier 且< 200psi前更換 purge panel 和gas cabinet的出口應加裝Filter,用來吸附水分用V+V的pipe抗腐蝕 腐蝕性GC 20 SET 備品20支發現leak/腐蝕更換使用10支/年(Cl2 /HBr )
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