送氣配合規定說明

VMB/VMP Gas turn on procedure(含拆, 移機注意事項)

廠務部氣體,請各設備工程師配合實施:
送氣事項之配合:
1.a.各單位裝機前七日須以裝機 CAD 圖或廠務需求通知ISEP ,以利派工安裝 Gas detector
b.各單位送氣前二工作日48hrs(不含假日),需將裝機安全管制表送至 ERC 會簽
Gas detector 功能.
c.. ERC 完成簽核後, 送氣前一日需將裝機安全管制表送至廠務部氣體組(EXT 3930)
審核裝機安全管制表內相關送氣資料是否填寫及相關簽核,資料完整廠務部
即排定隔日送氣時間,會同使用單位送氣.
2. a. 送氣當日使用單位需完成" Fab3 Equipment Hook up Pipe Line Fine Check Report "
表格內之測漏資料填寫,經 Section Manager (或代理人) 簽核同意送氣,毒性氣體
需再經ERC 簽核確認偵測器正常.
b. 送氣時間為週一~週五 09:00~16:00 ,最遲送件時間為16:00(因超過此時段送氣若有
題或意外發生,較難通知到廠商請求支援及協助)
16:00 送件廠務部仍會完成當日送氣,期間若發生不合規定將不予送氣.
超過 16:00 送件,廠務部即排定隔日送氣,若有緊急需求,需經廠長簽核同意.
c. 夜間及假日原則上基於上述原因也不予送氣,若有特殊需求請送氣單位副理與廠務氣化課副理協調送氣與否,但仍需經廠長簽核同意並會簽工安主管.
3. a. 裝機安全管制表填寫內容表格說明:
SL2-F1: Gas Hook Up Piping (VMB/P) Installation Acceptance Check List
SL2-E2: Gas Delivery Check
SL2-E5: Local Scrubber
SL2-I2 : Central Gas Monitor System
b. 原機台新增氣體,需照上述填寫相關檢查表
附註說明:
送氣前七日須以裝機 CAD 圖或廠務需求通知ISEP.
送氣前二工作日需完成簽核SL2-I2 : Central Gas Monitor System
送氣前一日需完成簽核並送廠務部氣體組
SL2-F1: Gas Hook Up Piping (VMB/P) Installation Acceptance Check List
SL2-E2: Gas Delivery Check
SL2-E5: Local Scrubber
送氣當日 16:00 前需完成簽核 Fab3 Equipment Hook up Pipe Line Fine Check Report








一、 VMB/VMP Gas turn on document :
ｱ、 詳細填寫裝機資料簿中之SL2-F2 SFL-E2 SFL-E5 SF2-I2 及 F3 EQ Hookup pipe line final check report
ｲ、 需確認VMB及機台是否裝妥毒氣偵測器且功能正常
ｳ、 VMB/VMP欲送氣之Stick均需掛“ON”標示牌, 請依下列格式填寫各項資料






二、 Gas turn on procedure (設備需完成事項)_非經廠務許可, 嚴禁操作三通閥
ｱ、 For Bulk Gas (O2, Ar, He) : (目前各盤面均充壓氮氣 1 kg/cm2)
1. Case 1:
1) 各盤面第一次送氣須打開specified stick之V1及inlet 2-way valve, 由機台端至前一 VMB/P端抽真空 (見圖一)
2) 設備工程師將Gas turn on document準備ok, 掛牌
3) 準備送氣, 將調壓器關小, 打開V1, V2, 緩慢調壓至所需壓力---(洽廠務)
2. Case 2:
1) 已送氣盤面之其餘stick則由機台抽至V1端即可 (見圖二)
2) 設備工程師將Gas turn on document準備ok, 掛牌
3) 準備送氣, 將調壓器關小, 打開V1, V2, 緩慢調壓至所需壓力---(洽廠務)
ｲ、 For Sepcialty Gas (含H2) : (目前各盤面均充壓氮氣 1 kg/cm2)
1. Case 3: 開啟新氣瓶櫃送氣: (見圖三) ---(新盤Gas turn on請洽廠務)
(通常發生於工廠開始運轉初期或新增擴充櫃)
1) GC以He/N2持壓測漏, line purge, evacuation ---(洽廠務)
2) 設備將指定VMB/VMP之指定stick pumping down from equip. tool to GC (抽至-1kg/cm2) ---(洽廠務)
3) 設備工程師將Gas turn on document準備ok, 掛牌
4) Close inlet 2-way valve, turn on Gas送至盤一次側
5) 準備送氣, 將調壓器關小, 打開inlet 2-way valve ,V1, V2,
緩慢調壓至所需壓力---(洽廠務)
2. 其餘盤面第一次送氣 : 同Bulk Gas盤Case 1
3. 已送氣盤面之其餘stick送氣 : 同Bulk Gas盤Case 2

*以上所有抽真空至VMB/P各閥件,皆需完成測漏動作.
4. 無法抽負壓測漏之機台,需使用正壓(保壓)測漏
1) 1) 設備將指定VMB/VMP之指定stick 以real gas緩慢調壓至所需壓力
保壓 from VMB/P to equipment tool (洽廠務)
2)持續觀察壓力之變化,並隨時以TLD-1做現場偵測,並請ERC監控


三、 機台移機注意事項:
ｱ、 將欲移機機台對應VMB/VMP stick之V1閥關閉, 由機台至V1端抽真空
ｲ、 關閉V2閥, 拆除V2 outlet管路, 並加以cap
ｳ、 於V2閥懸掛OFF標示牌(請詳細填寫各項資料)