氣瓶櫃鋼瓶更換作業 Check List

氣體種類 : _______________ GC 編號 : _______________
項次 操 作 / 檢 查 內 容 執行狀況 備 註
是 否
Pre-Purge 操作人員 : _____________ 確認人員 : _____________
1 確認供氣側在"Process Gas Flow"狀態，且供應壓力正常 檢查PT2壓力
2 檢查氣瓶櫃Exhaust量是否足夠
3 確認Scrubber是否正常運作 (指示劑是否變色)
4 檢查Purge gas cylinder(N2)壓力是否正常 (鋼瓶壓力> 200psig)
5 紀錄鋼瓶殘餘量(Lb) Lb
6 依氣瓶櫃Controller畫面指示進行"Start Pre-Purge"程序
7 手動關閉欲更換側鋼瓶之瓶頭閥，並打開MV-22手動閥
Cylinder Change 操作人員 : _____________ 確認人員 : _____________
1 檢查氣瓶櫃Controller畫面是否顯示"Pre-Purge Completed"
2 領取欲更換之氣體鋼瓶，確認領用鋼瓶之氣體名稱並執行鋼瓶外觀檢查 瓶身是否有損傷或骯髒
3 檢查鋼瓶上是否有檢驗合格標籤，並於標籤上之氣體名稱及料號以簽字筆標記
4 檢查鋼瓶上之MSDS危害標示是否正確
5 檢查鋼瓶上是否有"實瓶/使用中/殘氣鋼瓶"之貼紙
6 鋼瓶閥外觀檢查
7 穿戴適當安全防護具
8 依氣瓶櫃畫面指示進行"Start Cylinder Change"程序
9 緩慢鬆開DISS接頭
10 移走殘氣鋼瓶並將"使用中"貼紙撕去，換上實瓶氣體鋼瓶
11 緩慢鬆開DISS接頭保護蓋
12 鋼瓶閥DISS接頭檢查
13 13.1 DISS接頭型式是否與氣瓶櫃內Pigtail型式相符
13.2 DISS接頭之螺紋及密封接面是否清潔
13.3 DISS接頭之螺紋及密封接面是否有損壞或刮痕
13.4 DISS Gasket檢查是否正常，並安裝至DISS接頭上
14 利用DISS接頭用扭力扳手將DISS接頭鎖緊 扭力設定 35 ft-lb
Post Purge 操作人員 : _____________ 確認人員 : _____________
1 依氣瓶櫃Controller畫面指示進行高壓測漏程序 高壓測漏鋼瓶壓力>1000psig
2 依氣瓶櫃Controller畫面指示進行"Start Post-Purge"程序
Process Flow 操作人員 : _____________ 確認人員 : _____________
1 檢查氣瓶櫃Controller畫面是否顯示"Post-Purge Completed"
2 手動打開鋼瓶閥，並將"實瓶"貼紙撕去
3 執行"Start Process Gas"程序
4 確認氣動閥V1,V2是否有自動打開，PT1 & PT2壓力是否正常
5 檢查MV-9閥是否在"Open"狀態
6 將鋼瓶上之貼紙由"實瓶"撕掉更換為"使用中"
7 確認更換側在Controller畫面上是否顯示為"Standby"
註： 1.執行狀況中"是"表示有執行動作或確認狀況正常，請以"○"標記
1.執行狀況中"否"表示有執行動作或確認狀況異常，請以"X"標記
2.若無此執行項目請在"是"的地方以"NA"標記 單位主管 : ___________________