特殊氣體管路作業程序規範

1. 目的：建立標準作業程序，藉以確保作業品質，以防止並降低拆管作業風險
2. 適用時機：既有管路修改與拆管
3. 拆裝小組成員：Contract Owner (施工承攬商負責人) & 廠務系統負責人
4. 作業程序
1.1施工前檢查
1.1.1閥件與管件之標示：包括所有相對應要拆除之管路及元件。
1.1.2 各項管路拆除工作除務必穿戴工安規定之適當防護器具。
1.1.3關手動閥：關閉將拆管之管路手動閥。
1.1.4抽真空：管路抽真空直至壓力不再下降後並保持8小時以上。
1.1.5測漏：由PT Trend chart 檢查管路壓力是否異常。
1.1.6 Cycle-purge：測漏完成後由GasCabinet端的Purge gas作整條管路purge及勻壓Cycle Purging之動作。
1.1.7確認施工人員為拆管小組成員，不可臨時更換
1.1.8施工工具準備：拆卸工具，管路VCR cap，safety locker (紅色塑膠環)

1.2施工細節討論
1.2.1 Gas piping 施工原則，由VMB/P出口往氣瓶櫃方向拆，只可由一組人力進行拆除工作，不可分兩組人力，由不同地方進行拆除工作。
1.2.2各種氣體特性簡述並介紹。
1.2.3確認各項偵測儀器已隔離完成(火警隔離、Gas detection system隔離)。

1.3施工中
1.3.1施工人員各項個人防護具，察查及提醒穿戴。
1.3.2按既定施工之必要程序執行查檢。

1.4施工後
1.4.1施工後的廢棄物有效處理。
1.4.2施工現場界面，如：Cap、cover & 相關支架的復原。
1.4.3施工後現場複查。


管路拆除檢查表
編號 檢 查 項 目 結果 執行者
1 檢查作業許可證是否置於施工現場？ (負責工程師)
2 檢查施工區域是否已作適當安全隔離或警示？
3 檢查施工廠商是否依規定穿著適當安全防護具？
4 如可能影響其他機台生產，是否已通知有關單位停機？
5 確認特氣種類、並充分了解其Purge方式
6 確認管路已完成purge及通過測漏？
7 是否隔離氣體偵測器之警報功能？
8 管路拆除後是否依規定立即cap住？ (承包廠商)
9 管路拆除後是否加上off標示牌，safety locker及更新標示？
10 拆下之管路是否依規定處理？
11 施工後是否將施工現場清理乾淨？
12 確認無安全顧慮後復原該氣體偵測器？ (負責工程師)
13 管路拆除後3分鐘請再確認無洩漏狀況？