Special Gas用量管制辦法:

如用量異常可由T.G.S即時通告值班人員，其設定標準為每週、月統計平均用量
，於T.G.S中設定平均用量1.5倍為H Alarm、2倍為H.H Alarm(實際Base Line依產
能增減隨時Review) ，可即時通報相關設備工程師追查異常原因 。

T.G.S內建鋼瓶有效日期Data，由值班人員將鋼瓶更換日期Key-In T.G.S，再由
T.G.S進行將過期鋼瓶Alarm(由每班值班人員執行鋼瓶更換日期Key-In)。

對有Back-Up設計的GC/GM發現鋼瓶即將過期時優先將壓力調高先使用該鋼瓶
供應。

於用量稀少氣櫃張貼表格管制鋼瓶有效日期，由值班人員將要過期鋼瓶移至常
用氣櫃 or 其它Site使用。

依實際使用量考量用量稀少有Back-Up GC/GM單邊供氣或延遲至下月更換鋼瓶
，以縮小每月鋼瓶用量之差距。
C. Chemical避免過期管理方式:

1. 目前只有採用Lorry灌充之H2O2/H2SO4/NH4OH 三種Chemical作為Back-up
使用Chemical Drum可能過期,故於現場張貼系統正面,張貼即將有效日期,將安
排過期前由系統負責人,進行切換Charge Drum, 並更換新Drum上線.

2. 其他化學品因用量較大故無過期風險,唯需要求物管進貨時需確認有效期限
至少皆大於半年.

3. 未來要求物管Bar code條碼需含過期日,FE因更換刷條碼後,可評估由監控軟體
增設化學品使用期限之電腦管理機制,使Chemical過期風險降至零,並消弭因過
期造成Cost異常之事件.
1. 硬體
增加一片網路卡與氣體監控系統連接，
將GC/GM供氣狀態送到Barcode電腦。
2. 軟體
增加判斷左或右側是否在 PROCESS,
STANDBY。若在PROCESS,STANDBY
則不允許更換。
A.用量異常管理方式:

1. 現場張貼每台系統,每日最大更換酸桶,使換酸同仁,即早發現用量異常.
2. POU端Supply Time管理,建立合理供酸時間,Supply Time Over即為供酸異常.
3. Chemical用量週、月報進行用量W/O,M/O分析管理
4. 未來將評估增設Chemical consumption日及時用量警報功能.

B.通報及追蹤機制

1. 當換酸人員發現即將更換之Chemical桶數可能超過每日最大桶數時,立即查看
紀錄找到用量酸時間較大機台, 藉由“供酸時間紀錄”,立即得知異常要酸機台,
通知所屬User,避免異常用量擴大.
2. 依據各機台Max.用酸秒數,定訂Chemical supply time over合理時間,供
Module參考 ;若發生超過設定值,系統自動interlock,供應通知所屬MOD值班人
員查詢真因,待異常消除再解除interlock. (若卻認為機台異常,將立即以mail通
知所屬MOD三級及FOC二,三級主管異常用量及機台名稱)
3. 目前定每季Review設定時間是否合理,以不影響生產之最小化設定.(11月8C平
每月發生機率2次/CRD 小於1次;為機台HTC/VTC正常補酸)
4. 8C目前與T.G.S已連線/CRD年修可連線,將評估增設用量Warning
Alarm/Critical alarm功能,將較能即時反應用量異常狀況.